학회 | 한국공업화학회 |
학술대회 | 2017년 봄 (05/10 ~ 05/12, 광주 김대중컨벤센센터(Kimdaejung Convention Center)) |
권호 | 21권 1호 |
발표분야 | 디스플레이 |
제목 | CD를 활용한 1μm 이하로 패턴된 고성능 유기박막트랜지스터 제작 |
초록 | 소프트 리소그래피를 통한 고해상도 나노 패턴을 형성하기 위해서는 나노패턴을 형성한 마스터 몰드가 필수적인데 기존의 포토리소그래피를 이용해 제작되는 마스터 몰드는 고가의 공정이 필요하게 되므로 비용적인 문제가 발생한다. 본 연구를 통해 고가의 공정을 탈피, 저렴하며 선형 나노패턴을 가지고 있는 컴팩트 디스크 (CD)를 마스터 몰드로 재사용하여 나노임프린팅 방법을 적용한 polyurethane acrylate (PUA) 스탬프를 제작했고, 소프트 리소그래피 방법을 적용하여 6,13-bis-(triisopropylsilylethynyl) pentacene (팁스펜타센) 유기 반도체 나노 와이어를 성장시켰고 높은 전하이동로를 보이는 유기전계효과트랜지스터를 개발할 수 있었다. 본 연구는 한국연구재단 (NRF), 미래창조과학부 (MSIP)로부터 연구비를 지원 받았다. 또한 한국교통대학교 공학교육 혁신센터 창의적 종합설계 시작품제작 지원을 받아 수행하였다. |
저자 | 이호승, 안태규 |
소속 | 국립한국교통대 |
키워드 | 디스플레이; 유기박막트랜지스터; 미세패터닝 |