| 초록 |
결정질 실리콘 태양전지의 전극형성 공정은 전체시장의 85 % 이상이 금속 페이스트의 스크린 프린팅 공정을 이용하여 제조되고 있다. 우리는 스크린 프린팅 공정에 비해 미세한 선폭, 낮은 전기저항, 박형실리콘 웨이퍼에 적용 가능함 등의 장점을 가지는 잉크젯 프린팅 기술을 이용하여 전면 전극 형성을 연구하였다. 잉크젯 프린팅 기술을 이용하여 양질의 Ag seed contact을 형성 하고, Light-induced plating (LIP) 공정으로 두꺼운 전극을 형성하는 2단계 전극형성 공정을 이용하였다. 실리콘 태양전지 전면의 SiNx 반사방지막을 에칭하고 n-emitter와 컨택을 형성하는 fire-through 공정에 적합한 잉크제조를 위해, Bi2O3-SiO2 계 glass 나노 입자를 졸-겔법을 이용하여 합성하였다. 합성된 입자는 약 30 nm의 입자 사이즈를 가지며, 실버 전도성 잉크 내에서 높은 분산안정성을 가짐을 확인하였다. 형성된 전극은 집속이온빔 (Focused Ion Beam), 투과전자현미경 (Transmission Electron Microscopy)을 이용하여 계면구조를 관찰하였으며, I-V 측정기를 이용하여 전기적 특성을 관찰하였다. |
