화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2004년 가을 (11/05 ~ 11/05, 인하대학교)
권호 10권 2호
발표분야 반도체 II(화합물)
제목 Sol-gel법을 이용하여 제조한 Zn1-xCoxO 박막의 전기 및 자기적 특성
초록 본 연구에서는 Sol-gel 법을 이용하여 제조한 ZnCoO 박막의 진공 후열처리에 따른 전기 및 자기적 특성을 조사하였다. 용질로 zinc acetate dihydrate (Zn(CH3COO)22H2O)와 cobalt acetate tetrahydrate ((CH3CO2)2•CO•4H2O), aluminium chloride hexahydrate (Al•Cl3CH2O)를 사용하였고, 이 물질을 isopropanol (CH3)2CHOH) - monoethanolamine (MEA:H2NCH2CH2OH) 용매에 녹여서 균일하고 안정한 sol을 합성하였다. Glass 기판 위에 sol-gel spin coating법에 의해 제조한 Zn1-xCoxO 박막을 대기 및 진공에서 후열처리하여 c-축 배향성과 그 물리적 특성을 조사하였다. SEM을 통하여 박막의 표면 미세조직 및 자기적 성질에 미치는 영향을 분석하였다. 또한 UV-vis을 이용하여 광학적 특성을 조사하였으며, 전기적 특성은 Van der Pauw 법으로 Hall 측정 장비를 이용하여 조사하였다. XPS 분석을 통해 Co와 O 간의 결합 상태를 확인하였고, ZnCoO박막의 자기적인 특성을 AGM과 SQUID 측정을 통해 조사하였다.
저자 고윤덕1, 고석배1, 최문순1, 태원필2, 김기출3, 백종원1, 서수정1, 김용성1
소속 1성균관대, 2인하대, 3한국 전자통신부품(연)
키워드 ZnCoO; Sol-gel; Magnetic properties
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