| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2006년 봄 (05/19 ~ 05/20, 경상대학교 ) |
| 권호 |
12권 1호 |
| 발표분야 |
전자재료 |
| 제목 |
1wt% Y2O3가 첨가된 AlN 세라믹스의 전기 전도도 |
| 초록 |
Aluminum nitride는 고열전도성 소재로서 반도체 장비 등 여러 산업 분야에서 주목을 받고 있다. 이러한 용도로 AlN이 사용되기 위하여서는 고열전도성뿐만 아니라 전기적 특성 또한 매우 중요하다. 본 연구에서는 1wt% Y2O3가 첨가된 AlN 세라믹스에서 impedance spectroscopy와 DC 저항 등 전기적 특성을 분석하고자 하였다. 소결온도가 높아짐에 따라 저항이 낮아지는 경향을 보였고 1900℃에서 소결한 시편의 경우가 1700℃에서 소결한 시편보다 측정 전압에 따른 저항의 감소폭이 더 큰 것으로 관찰 되었다. 또한 측정 온도를 증가하면서 관찰한 경우에는 1700℃ 소결시편의 경우가 1900℃ 소결시편에 비해서 온도 증가에 따른 저항 감소가 큰 것으로 확인되었다. 한 편 impedance spectroscopy로 측정한 결과 입계 저항이 입내 저항보다 상대적으로 높은 것으로 나타났다. 이러한 결과를 바탕으로 AlN 세라믹스에서의 전기 전도 특성을 이해하고자 하였다. |
| 저자 |
이원진1, 이진욱1, 이성민2, 심광보3, 김형태2
|
| 소속 |
1요업기술원 / 한양대, 2요업기술원, 3한양대 |
| 키워드 |
Y2O3; AlN; 전기전도도
|
| E-Mail |
|
