| 초록 |
광촉매 TiO2는 국내외적으로 큰 관심을 받고 있는데, 빛을 조사한 후에 물질에서 발생하는 다양한 물리화학적 촉매특성이 환경정화 기능 및 에너지 문제와 밀접하게 연결되어 있기 때문이다. TiO2는 자기정화능, 초친수성, 고효율 수소생산성 및 태양전지로 활용성 등을 포함하여 다양한 분야의 친환경 소재로 각광을 받고 있다. RF-sputtering법으로 TiO2/Cr2O3/Cr 다층방막을 제조하고 특성을 평가하였다. 제조된 박막의 결정구조는 thin film형 X선 회절기(XRD)를 사용하여 분석하였으며, 박막의 표면 미세구조는 FE-SEM(Field Emission Scanning Electron Microscope)와 AFM(Atomic Force Microscope)으로, 화학구조는 XPS(X-ray Photoelectron Spectroscope)로 분석하였다. 친수성 평가는 실온 분위기에서 접촉각 측정기(Topcon-UVR 2)을 사용하여 평가 하였으며 이때 조사되는 UV는 파장이 365nm이다. |
