| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2010년 가을 (11/11 ~ 11/12, 무주리조트) |
| 권호 | 16권 2호 |
| 발표분야 | C. Energy and the Environment Technology(에너지 및 환경재료) |
| 제목 | 대면적 이종접합 태양전지 용 투명전도 산화막의 특성 향상 연구 |
| 초록 | 이종접합 태양전지에서 Transparent conductive oxide (TCO)는 Anti-reflection layer 및 Current spreading layer로 사용되고 있어 광학적 및 전기적 특성이 우수해야 한다. 주로 상온에서 전기적 특성이 우수하며 가시광 영역에서 반사도가 낮은 Sn doped In2O3 (ITO)를 사용하지만, Al doped ZnO (AZO)에 비해 가격이 비싸다는 단점이 있다. 그러나 AZO를 사용할 경우 ITO보다 높은 면저항 때문에 두껍게 증착해야 하고, 이 경우 가시광 영역에서의 반사도가 높아지는 단점을 가진다. 본 연구에서는 대면적 rf 마그네트론 스퍼터를 이용하여 AZO 박막에 수소의 도핑량 변화에 따른 전기적 및 광학적 특성에 대해 고찰하였다. AZO 박막은 2 wt. % Al2O3 함럄을 가지는 ZnO 타겟을 이용하여 코닝 글래스 (Eagle XG)에 약 150도 정도의 기판 온도로 증착을 진행하였다. 전기적 특성은 hall measurement를 이용하여 측정하였고, UV-VIS spectrophotometer를 이용하여 광학적 특성을 측정하였다. AZO 박막의 수소 함량이 증가할수록 캐리어 농도의 증가를 가져와 전기적 특성이 향상 되었으며, 광학적 특성 또한 증가되는 경향을 보여, 대면적 이종접합 태양전지 적용을 위한 투명전도 산화막을 제작할 수 있었다. |
| 저자 | 이승훈1, 최수영1, 탁성주1, 이종한1, 강병준1, 김원목2, 김동환1 |
| 소속 | 1고려대, 2한국과학기술(연) |
| 키워드 | 투명전도 산화막; rf 마그네트론 스퍼터; Al doped ZnO |
