| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2011년 가을 (10/27 ~ 10/29, 신라대학교) |
| 권호 | 17권 2호 |
| 발표분야 | B. Nanomaterials and Processing Technology(나노소재기술) |
| 제목 | AAO 템플릿을 이용한 Moth-eye형태의 Anti reflection coating막 형성에 관한 연구 |
| 초록 | 최근 광소자의 표면에서 매질간의 굴절율의 차이로 인해 발생하는 빛의 반사를 없애고 투과하는 빛의 양을 증가시키기 위한 연구가 진행되고 있다. 특히 빛의 반사를 줄이기 위한 Anti reflection coating 중 가시광선 파장의 1/2 이하 나노 패턴을 응용한 Moth-eye구조 에 관심이 쏠리고 있으며 이는 높은 Anti reflection 효과 뿐 아니라 높은 생산수율과 낮은 단가를 유지할 수 있는 장점이 있다. 본 연구에서는 알루미늄을 양극산화 하여 나노크기의 기공을 가지는 다공성층을 형성하여 나노 패턴의 Porous Anodic Aluminum Oxide막을 생성하였다. Silicon기판에 절연막인 SiO2을 CVD로 Adhesion layer로 Ti(20nm) 증착 후 Al(1um)을 Evaporator로 증착하여 사용하였다. 200nm 이하의 hole을 갖는 Porous Anodic Aluminum Oxide 형성을 위하여 anodizing의 전압과 widening 시간을 조정하여 실험한 결과 Pitch 140nm ~ 180nm, hole 130nm ~ 150nm 을 갖는 AAO template를 얻을 수 있었다. 이렇게 제작된 AAO template에 PDMS와 Ni도금을 이용하여 Nano imprint용 Stamp를 제작하여 광소자의 표면에 Anti reflectin coating 패턴을 형성하였다. |
| 저자 | 박은미, 임승규, 서수정 |
| 소속 | 성균관대 |
| 키워드 | Porous Anodic Aluminum Oxide; Moth-eye구조; Anti reflection coating |
