화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2013년 봄 (05/23 ~ 05/24, 여수 엠블호텔(THE MVL))
권호 19권 1호
발표분야 F. 광기능/디스플레이 재료(Optical Functional and Display Materials)
제목 대기압 유전체배리어방전의 광학적 진단
초록 대기압 유전체배리어방전(dielectric barrier discharge)은 기존의 진공 플라즈마에 비하여 복잡한 진공장비가 불필요하고 피처리물의 크기에 대한 제약이 상대적으로 적으며, 고농도의 반응활성종을 형성시키는 것이 가능하여 빠른 공정속도를 갖는다. 따라서 최근 세정, 표면활성, 코팅, polymerization, 살균 등 다양한 분야에서 대기압 배리어방전을 이용한 연구가 활발히 진행되고 있다. 그러나 진공에 비하여 압력이 높기 때문에 저압 플라즈마에 비하여 대기압 배리어 방전의 진단은 거의 진행되지 못하고 있다.
본 연구에서는 대기압 유전체배리어방전의 특성을 이해하기 위하여 monochrometer를 이용한 진단을 하였다. 대기압 분위기의 높은 가스밀도로 유전체배리어방전의 발광은 매우 미세하여 광학렌즈를 이용한 집광을 통해 진단을 실시하였다. 진단은 발광 및 흡광을 통해서 실시하였으며, 방전전압과 방전가스에 따른 특성을 비교하고 고찰하고자 하였다.
저자 조정현1, 김윤기1, 김동규2
소속 1한밭대, 2(주)이넥트론
키워드 대기압; 유전체배리어방전(DBD); 플라즈마 진단; 발광; 흡광
E-Mail