화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2004년 봄 (05/14 ~ 05/14, 강릉대학교)
권호 10권 1호
발표분야 전자부품
제목 LTCC 저유전율 배선기판과 중유전율 기능성 기판사이의 물리적 화학적 매칭
초록 LTCC 기술은 Duplexer, Antenna module 등 단품 형태로부터 L, C, R 기능이 내장되고 다양한 능동부품도 내장되는 등 다기능 복합모듈 형태로 발전해 나가고 있다. 이러한 경향에 대응하는 LTCC 소재 시스템에서는 저유전율 배선기판 조성과, 공진기 및 내장 캐패시터 구현을 위한 중/고유전율 조성이 가장 핵심적인 구성요소이다. 당 연구에서는 먼저 875oC 이하의 온도에서 모재료를 충분히 치밀화시키면서도 전기적 특성이 우수한 유리 프리트 조성을 탐색하였으며, 이를 충진재 및 모재료에 적용함으로서 저유전율 및 중/고유전율 LTCC 조성을 개발하였다. 아울러, 저유전율 배선기판과 중유전율 기능성 기판의 이종소재간에 물리적 화학적 매칭을 위한 조성기술 및 공정기술을 확립하였다. 유리프리트의 조성변동, 적층형태, 기타 공정변수의 변화에 따를 이종소재 적층체의 휨, 박리 현상에 대해 조사하였다.
저자 박재환, 최영진, 박정현, 고원준, 제해준, 김병국, 박재관
소속 한국과학기술(연)
키워드 LTCC; 이종소재; 매칭; 동시소성
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