화학공학소재연구정보센터
학회 한국고분자학회
학술대회 2009년 가을 (10/08 ~ 10/09, 광주과학기술원 오룡관)
권호 34권 2호
발표분야 고분자 합성
제목 초박형 웨이퍼 표면의 젖음성 향상을 위한 점착수지 합성 및 점탄성적 거동
초록 Multi chip package에 사용되는 초박형 웨이퍼의 제조공정중 웨이퍼 크랙 및 파손에 따른 불량이 빈번히 발생한다. 이러한 불량발생을 효율적으로 억제하기 위하여 일반적인 아크릴 단량체보다 사슬길이가 긴 lauryl acryle를 사용하여 우수한 젖음성으로 인해 초박형 웨이퍼 표면에 균일한 점착력을 가지게 되는 아크릴공중합체를 합성하였다. 젖음성을 변화시키기 위하여 lauryl acrylate 단량체 함량을 5, 7.5, 10 wt%로 변화시켜가며 점착제용 기본수지를 합성하였고 이들의 점탄성적 거동특성을 조사하였다. 점탄성적 거동변화에서는 lauryl acrylate 7.5 wt%일 때가 가장 안정한 물성을 나타내었다. Lauryl acrylate 함량이 많을수록 웨이퍼 표면에서의 젖음성은 증가하지만 점착력은 낮아지는 경향을 나타내었다.
저자 유종민, 김형일
소속 충남대
키워드 MCP; 젖음성; 점착제; 초박형; 웨이퍼
E-Mail