| 초록 |
조합화학적 기법을 이용한 신소재 박막 제조 연구는 조성에 의존적인 전자재료의 발견에 매우 효율적인 방법으로 입증되어졌고, 전세계적으로 초전도체, 형광체, 그리고 유전체 물질 개발에 집중적으로 수행되고 있다. 본 연구는 크게 2가지로 나뉘어 수행되어졌는데, 첫번째는 현재 fatigue현상이 개선되었을 뿐더러 결정화온도가 650℃ 정도로 낮은 (Bi,La)4Ti3O12 박막을 온도구배를 줄 수 있는 heater가 장착된 pulsed laser deposition장비를 통해 증착하여 온도에 따른 제조된 박막의 구조 및 전기적 성능 변화를 관찰하였고, 두 번째는 본 연구실에서 개발한 액적화학증착법(LSMCD)과 마스크를 활용하여 Bi 조성을 고정시킨채, 치환물질인 La과Ce의 화학조성비가 다양한 샘플을 하나의 wafer상에 구현하여 microbeam XRD로 구조분석을 수행하고, 이에 따른 전기적 성능은 각 sample 상에 top electrode를 증착한 후 잔류분극, fatigue 등을 고찰하여 조성비와 전기적 성능간의 관계를 기존 연구방식에 비해 단시간내에 규명하였다. |
