화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 1997년 가을 (10/24 ~ 10/25, 충남대학교)
권호 3권 2호, p.3213
발표분야 재료
제목 BaTiO3박막형성에 미치는 pH의 효과
초록 전기화학적 방법에 의한 BaTiO3 박막제조는 기존의 고온·고압이 요구되는 PVD, CVD 및 졸­겔 방법등에 비하여 저온에서 합성이 가능하므로 제조 후 고온·소둔의 과정에서 발생할 수 있는 확산에 기인한 기판/박막 계면에서의 부반응의 문제점을 보완할 수 있으며, 전해조건의 변화에 따라 박막의 두께조절이 가능한 장점을 지니고 있다. 본 연구에서는 산화반응에 의한 BT형성과정에서 OH-이온이 미치는 효과를 LSV 및 펄스파형을 이용하여 조사하고, 이와 함께 BT박막 형성에 미치는 영향을 분석하였다.
저자 강진욱, 탁용석
소속 인하대
키워드 BaTiO3 thin film; pH effect
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