학회 | 한국화학공학회 |
학술대회 | 1997년 가을 (10/24 ~ 10/25, 충남대학교) |
권호 | 3권 2호, p.3213 |
발표분야 | 재료 |
제목 | BaTiO3박막형성에 미치는 pH의 효과 |
초록 | 전기화학적 방법에 의한 BaTiO3 박막제조는 기존의 고온·고압이 요구되는 PVD, CVD 및 졸겔 방법등에 비하여 저온에서 합성이 가능하므로 제조 후 고온·소둔의 과정에서 발생할 수 있는 확산에 기인한 기판/박막 계면에서의 부반응의 문제점을 보완할 수 있으며, 전해조건의 변화에 따라 박막의 두께조절이 가능한 장점을 지니고 있다. 본 연구에서는 산화반응에 의한 BT형성과정에서 OH-이온이 미치는 효과를 LSV 및 펄스파형을 이용하여 조사하고, 이와 함께 BT박막 형성에 미치는 영향을 분석하였다. |
저자 | 강진욱, 탁용석 |
소속 | 인하대 |
키워드 | BaTiO3 thin film; pH effect |
원문파일 | 초록 보기 |