| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2004년 봄 (05/14 ~ 05/14, 강릉대학교) |
| 권호 | 10권 1호 |
| 발표분야 | 전자부품 |
| 제목 | 감광성 전도체 페이스트와 감광성 유전체 페이스트를 Series process 에 적용하여 공정 조건에 따른 multi-layer 구조 구현 |
| 초록 | 단일 수동 소자를 제작하는 기술에는 여러 가지가 있는데 그 중 LTCC 저온 동시소성 기술이 있다. 이 기술의 경우 다층 적층형 구조의 전자 부품을 구현하는 방법에 있어서 세라믹 그린 sheet와 전도체 페이스트를 사용한다. 이 기술에서는 전도체 페이스트를 인쇄하여 패턴을 구현하는데 이 경우 구현된 미세 라인의 resolution이나 형성된 패턴의 단면 측면에서 직각의 모양을 얻기가 매우 어렵다. 광 식각 공정을 활용하여 미세 라인을 구현 할 시 위의 공정에서와 같은 문제점을 많이 극복할 수 있다. Photoimageable conductor paste를 활용하여 미세 라인을 형성하였을 시 후막으로 인쇄한 패턴보다 수십 um 더 미세한 라인이 구현되며 아울러 단면의 경우도 직각에 가까운 모양을 구현 할 수 있다. 본 연구에서는 광 식각 공정의 이와 같은 장점을 살려서 세라믹 그린 쉬트의 대체용으로 photoimageable dielectric paste를 사용하고 photoimageable conductor paste를 이용하여 series process에 적용하여 다층 구조를 구현하여 보았다. 공정 조건에 따라 형성한 다층 적층 구조를 분석하여 보았으며 제작한 단일 수동 소자의 특성을 측정하여 보았다. |
| 저자 | 유명재, 이상명, 유찬세, 박성대, 박종철 |
| 소속 | 전자부품(연) |
| 키워드 | Series process; photoimageable; paste |
