| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2006년 가을 (11/03 ~ 11/03, 수원대학교) |
| 권호 | 12권 2호 |
| 발표분야 | 전자 재료 |
| 제목 | COT-OLED 에 사용되는 투명전극(ITO)의 특성 향상을 위한 연구 |
| 초록 | COT-OLED(Color filter On TFT - Organic Light Emitting Diodes)는 Hard Mask를 사용하지 않고 사진 식각 공정에 의해 컬러필터를 형성함으로 해상도를 높일 수 있고 면발광 소자를 사용하기 때문에 곡면 표시 소자에 활용될 수 있는 OLED 소자를 말한다. 본 실험에서는 COT-OLED의 초기 제작 과정으로써 녹색 유기 EL층 위에 RGB 삼원색의 컬러필터를 증착함으로써 COT-OLED의 제작 가능성을 확인하였고, Turn-On Voltage 를 조절하기 위해 투명전극을 열처리와 O2 플라즈마 처리를 하여 특성을 변화시킬 수 있는 실험을 하였다. 먼저 표면의 불순물을 제거한 1인치 Glass를 준비한다. 그 위에 청색 컬러필터를 코팅한다. 그 후 패터닝 된 필름 마스크를 사용하여 노광정렬한 뒤 가열한다. 청색 컬러필터의 일정 부분을 스트립한 후 같은 제품의 적색과 녹색의 컬러필터를 스트립 된 부분에 코팅한다. 그 후 스퍼터를 이용하여 투명전극 물질인 ITO를 증착한다. Evaporator를 사용하여 녹색 유기 EL층 형성을 위하여 홀수송층인 NPB를 증착하고 연속적으로 발광층 물질인 Alq3을 증착한 뒤 전자수송층인 LiF를 증착한다. 마지막으로 음극 물질인 Al을 증착하여 시편을 완성한다. 그 후 ITO와 Al에 전압을 인가하여 전류를 측정한다. 전압을 0.01V 단위로 인가하여 그 때의 전류를 측정하고 컬러필터를 통해 나오는 녹색 유기 EL의 발광을 관찰한다. 제작된 시편의 녹색 유기 발광은 5.55V에서 Turn-On 됨을 알 수 있다. 전압의 인가량을 높일수록 발광 효율이 좋아지다가 25V근방에서 유기 물질이 타게 되어 발광을 멈춘다. Turn-On Voltage 를 조절하기 위해 투명전극으로 사용하는 ITO에 열처리와 O2 플라즈마 처리를 각각 다른 시편에 시행한다. 열처리의 경우 200, 350, 500℃ 로 하여 특성을 파악하고, O2 플라즈마 처리는 3분, 5분으로 하여 각각의 특성 변화를 파악하였다. 본 실험의 결과를 보면 투명전극 물질로 쓰이는 ITO의 특성이 처리과정후 변하여 Turn-On Voltage 가 변동되는 것을 관찰할 수 있었다. |
| 저자 | 정동훈, 박민, 주승기 |
| 소속 | 서울대 |
| 키워드 | COT-OLED; 투명전극(ITO); 열처리; O2 플라즈마 |
