화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 2006년 가을 (10/27 ~ 10/28, 고려대학교)
권호 12권 2호, p.1553
발표분야 공정시스템
제목 Oled Glass Cap제조를 위한 Spray Nozzle Etching System Modeling
초록 OLED(Organic Light Emitting Diodes)는 형광성 유기화합물을 전기적으로 여기시켜 발광시키는 자발광형 디스플레이로 낮은 전압에서 구동이 가능하고, 박형 등의 장점을 갖고있으며 또한, 광시야각, 빠른 응답속도 등 LCD에서 문제로 지적되는 결점을 해결할 수 있는 차세대 디스플레이 후보로서 주목받고 있다. 유기 EL 디스플레이는 다른 디스플레이에 비해 중형 이하에서는 TFT LCD와 동등하거나 그 이상의 화질을 가질 수 있다는 점과 제조공정이 단순하여 향후 가격 경쟁에서 유리하다는 점으로 차세대 평판 디스플레이로 주목받고 있다.
본 연구에서는 OLED의 glass cap으로 사용되는 유리 기판의 식각 공정에 있어 일반적인 식각공정에서 나타나는 사이드 에칭 현상은 관찰되지 않고 식각 후 유리판과 마스크의 경계면에 원인을 알 수 없는 식각 현상이 나타나 제품에 불량이 나타나는 문제가 발생하고 있어 불량을 감소하고 더 나은 품질의 제품을 만들고자 원인을 찾고, 제품의 grade를 높이기 위하여 수행되었다. 그 원인으로는 식각 액의 타력과 현재 사용되고 있는 식각 액의 산의 강도, 그리고 마스크와 유리판의 접합세기 등의 영향이 되고 있다. 따라서 본 개발 과제에서는 위에 언급된 각 원인들을 조사하여 생산성를 개선하고자 여러 가지 생산 공정 중 핵심 공정인 etching process의 spray nozzle system을 modeling하여 생산비용절감 및 불량률이 감소된 양산 공정에 적용될 수 있도록 하였다.
저자 서민교, 박진수, 소원섭, 박미정, 정재학
소속 영남대
키워드 OLED; Glass cap; nozzle; spray
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