| 학회 |
한국고분자학회 |
| 학술대회 |
2007년 가을 (10/11 ~ 10/12, 일산킨텍스) |
| 권호 |
32권 2호 |
| 발표분야 |
나노구조제어 및 분석기술 |
| 제목 |
Application Polydiacetylene Supramolecules to Thermal Measurement in MEMS/NEMS |
| 초록 |
Microelctromechanical system (MEMS)과 Nanoelctromechanical system (NEMS)은 넓은 범위에서 발열 현상을 함께 수반한다. MEMS나 NEMS의 발열특성은 성능에 악영향을 유발할 수 있기 때문에 마이크로 이하 사이즈의 소형화를 위해서는 반드시 고려해야 한다. 현재까지 발열특성 계측방법으로 Infrared (IR) imaging system인 방사분석법을 주로 사용하였으나 방법이 복잡하고 비용과 분석 시간이 많이 든다. 본 연구에서는 발열특성 계측을 위하여 열적 자극을 받으면 자가형광 발현 특성을 갖는 폴리디아세틸렌을 이용하였다. 폴리디아세틸렌을 Micro-heater 표면에 코팅하고 전압을 인가하면서 발열 과정을 형광현미경으로 관찰하였다. 이 방법은 분석이 간단하며 시간도 적게 소요되어 앞으로 MEMS와 NEMS의 성능 개선에 긍정적인 영향을 줄 것이다. |
| 저자 |
양두호, 안재희, 이길선, 안동준, 김지현
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| 소속 |
고려대 |
| 키워드 |
polydiacetylene; MEMS/NEMS; thermal measurement
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