| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2013년 가을 (11/06 ~ 11/08, 제주롯데호텔) |
| 권호 | 19권 2호 |
| 발표분야 | 제25회 신소재 심포지엄-한국연구재단 세션 |
| 제목 | 나노소자 제작을 위한 저온 병렬 나노선 집적 공정 |
| 초록 | 나노선, 나노튜브, 그라핀 등의 나노소재는 나노전자소자, 나노바이오소자, 나노에너지 소자 등의 다양한 영역에 응용되어 산업적으로 고부가가치를 창출하고, 고효율 저에너지 성장에 기여할 수 있을 것으로 기대된다. 이러한 나노소재를 이용한 나노소자 제작을 용이하게 하기 위해서는 나노구조물을 병렬로, 동시에 접합하고, 우수한 전기적, 기계적 성능을 획득할 수 있는 나노접합 공정의 개발이 요구된다. 본 연구에서는 열압착 공정과 솔더층을 이용하여 저온에서 병렬로 나노접합을 형성하는 공정기술을 제안하였다. ZnO 나노와이어를 솔더 금속전극에 압입시킴으로써 강한 기계적 접합강도와 안정적인 전기적 특성을 획득하였다. In 기반 금속전극을 적용한 경우, 100°C의 낮은 공정온도에서 전기적, 기계적으로 강인한 나노접합이 형성됨을 확인하였다. 유연기판상에 Au 기반 금속전극의 경우, 상온에서 나노접합을 형성하였으며 공정온도에 따라 ZnO 나노선과 금속전극의 전기적 특성을 조절할 수 있음을 확인하였다. 제안한 공정을 이용하여 나노소자를 제작하고 UV 센서, 가스센서로 활용할 수 있음을 확인하였다. 또한 유연기판 상에 ZnO 나노소자를 제작하고 기계적 굽힘실험을 수행하여 나노접합부의 전기적 기계적 특성이 우수함을 확인하였다. Acknowledgement : 본 연구는 한국연구재단 나노원천기술개발사업 NRF-2009-0082527 에 의해 지원되었으며 이에 감사드립니다. |
| 저자 | 이지혜1, 이원석1, 김한중1, 최대근1, 박인규2 |
| 소속 | 1한국기계(연), 2한국과학기술원 기계공학과 |
| 키워드 | Nanointerface; nanointegration; nanowire; low temperature; parallel process |
