| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2015년 봄 (04/29 ~ 05/01, BEXCO (부산)) |
| 권호 | 19권 1호 |
| 발표분야 | 무기재료_포스터 |
| 제목 | 반도체공정 폐가스 처리용 고내구성 연소분해모듈을 위한 니켈기반 초내열합금 코팅 특성평가 |
| 초록 | 반도체, 전자산업에서 일반적으로 PFCs 및 NF3를 처리하기 위한 연소기술 적용 장치를 스크러버로 통칭하며, 전단부에서 Air burner 또는 순산소 버너를 이용하여 PFCs 및 NF3를 분해하고, 후단부로 이송되면서 온도를 낮추며, 최종적으로 Wet scrubber를 이용하여 연소부산물을 제거한다. 최근까지도 고온/유해가스 고부식성 환경에서 내화학적 안정성이 확보된 소재의 개발 부재로 연소분해장치 및 배관라인의 내구성이 현저히 떨어짐에 따라 유지보수 비용의 증가로 인해 수익성 악화로 이어지기 때문에 경제성 제고 및 처리효율을 증대하기 위한 고내구성 부품에 대한 수요가 증가하고 있다. 본 연구에서는 저환경부하 스크러버용 연소분해 모듈의 경제성과 유지관리 효율성 증대를 위한 고온 내열화학성 코팅소재 및 공정을 개발하고자 하였다. 기존 모듈 소재의 내부를 니켈 기반 합금으로 효과적으로 코팅하여 그 적용성을 평가하였다. |
| 저자 | 박재량1, 송형운1, 이종범2, 엄성현1 |
| 소속 | 1고등기술(연), 2(주)그린리소스 |
| 키워드 | 고 내열화학성; 코팅 소재; PFCs; 스크러버 |
