| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2010년 가을 (11/11 ~ 11/12, 무주리조트) |
| 권호 |
16권 2호 |
| 발표분야 |
E. Advanced Materials and processing Technology(첨단재료공정기술) |
| 제목 |
전기도금 방법으로 제작된 구리 메쉬 박막층의 특성 연구 |
| 초록 |
모니터에 사용되는 전자파 차폐용 구리 메쉬는 모니터의 선명함을 유지하기 선폭 및 두께 감소가 요구된다. 이러한 미세 패턴 형성을 위해 전주 도금법에 사용되는 황산구리 동도금액의 유기 첨가제 thiourea(TU)의 영향을 정전류 및 Pulse Reverse(PR)별로 조사하였다. TU를 가하여 도금하는 구리 메쉬 박막층은 순수한 전해액만을 이용한 박막과는 결정성이 다르게 나타난다. 또한, TU의 함류량이 늘어남에 따라 전착 속도가 매우 감소되는데. 이는 전주도금법에 의해 형성되는 구리 메쉬의 미세패턴 형성에 매우 유리한 조건으로 작용한다. PR전류는 TU와 더블어 도금과 에칭을 반복하여 수행함으로서 선폭을 감소 시키며, 성장층을 수직방향으로 향하게 한다. |
| 저자 |
임성봉, 이주열
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| 소속 |
한국기계(연) |
| 키워드 |
TU; 전주도금; 펄스법; 구리 메쉬; 패턴
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