화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2006년 가을 (11/03 ~ 11/03, 수원대학교)
권호 12권 2호
발표분야 나노 및 생체 재료
제목 나노선 소자 구현을 위한 Ni capped ZnO 나노선의 자기 배열법 연구(Magnetic alignment of Ni capped ZnO nanowires for nanowire-based device applications)
초록 반도체 나노선구조는 박막구조와 비교해 우수한 결정성, 넓은 표면적 및 높은 종횡비 등의 우수한 특성을 갖고 있기 때문에 나노선 소자는 박막소자에 비해 우수한 특성을 발휘할 수 있다. 나노선 소자 개발을 위해서는 나노선 제어가 필수적이지만, 선택적 위치에 나노선의 합성 및 분산이 어렵기 때문에, 실제 소자응용에 어려움을 겪고 있다. 최근 electrical alignment, microfludic alignment 등의 나노선 제어기술이 보고되고 있지만, 정확한 위치제어의 어려움 및 복잡한 공정 등의 이유로 실제 소자 응용에는 한계가 있다.
본 실험에서는 반도체 나노선 제어를 위한 자기 배열법을 개발하고, 이를 자외선 감지기 제조에 응용하였다. MOCVD를 이용하여 c-Al2O3 기판 위에 수직으로 잘 정렬된 ZnO 나노선을 성장시키고, 나노선 위에 Ni을 증착시켰다. 이렇게 합성된 Ni capped ZnO 나노선은 자기장 내에서 강자성 금속 전극 위에 분산되어 두 전극 사이에 배열 및 접합되었다. 열처리를 통해 나노선과 금속 전극 사이에 전기 저항을 감소시킨 소자 구조를 자외선 감지기로 응용하였다. Scanning electron microscopy (SEM)과 transmission electron microscopy (TEM)을 이용하여 성장한 Ni capped ZnO 나노선의 형상 및 결정학적 특성을 분석하였으며, 나노선의 전극 사이에서의 배열 상태를 확인하였다. ZnO 나노선에서 Ni이 증착된 부분을 확인하기 위해 Electron dispersive x-ray (EDX)을 사용하였다. 합성된 소자는 자외선 조사에 따른 I-V 특성 변화 관찰을 통해 자외선 감지 소자로의 응용 가능성을 확인하였다.
저자 이상원, 정민창, 명재민
소속 연세대
키워드 magnetic alignment; Ni capped ZnO nanowires
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