화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2011년 봄 (05/26 ~ 05/27, 제주 휘닉스 아일랜드)
권호 17권 1호
발표분야 A. Information and Sensor Materials(정보소재 및 센서)
제목 전해증착법을 이용한 Sb2Se3(Antimony selenide) 박막증착과 특성분석
초록 칼코지나이드 화합물은 비정질 상태와 결정질 상태가 빠르게 변화하는 switching 효과라는 독특한 성질을 볼 수 있는데 이런 독특한 특성 때문에 최근 몇 년간 많은 주목을 받고 있다. 특히, Sb2Se3는 V–VI 족의 반도체 화합물로써 1-1.3eV 밴드갭(Band gap) 에너지를 가지고, switching 효과뿐만 아니라 태양전지에 적합한 특성과 좋은 열전(Thermoelectric) 특성을 보여주고 있다. Sb2Se3 박막을 증착하는 기술에는 Via chemical deposition, 분부열분해법(Spray pyrolysis), 펄스레이저증착법(Pulsed laser deposition) 그리고 진공 증착법 등 여러 방법이 사용되고 있다. 그러나, 공정이 간편하고 저가로 대면적화가 가능한 전해증착법을 이용한 Sb2Se3 박막증착에 대한 연구결과는 미미한 실정이다.  
본 연구에서는 전해증착법을 이용하여 Sb2Se3 박막을 증착하였다. 화학양론적(Stoichiometric) 조성을 가지는 박막을 증착시키기 위하여, Sb와 Se 이온이 포함된 수용액 전해질에서 순환전류전압법(Cyclicvoltammetry)를 이용하여 각 원소의 환원전위를 분석하였다. 그리고 과전압(Overpotential) 및 전해질의 조건을 다르게 하여 얻은 박막을 주사전자현미경(SEM)과 EDS를 이용하여 박막의 표면과 성분을 분석하였으며, XRD 분석법으로 박막의 결정성을 분석하였다.
저자 박기문, 김동욱, 유봉영
소속 한양대
키워드 Sb2Se3(Antimony selenide); 전해증착법; 박막; 순환전류전압법(Cyclicvoltammetry)
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