| 학회 |
한국고분자학회 |
| 학술대회 |
2015년 가을 (10/06 ~ 10/08, 대구컨벤션센터(EXCO)) |
| 권호 |
40권 2호 |
| 발표분야 |
대학원생 구두발표 (영어발표, 발표15분) |
| 제목 |
Effect of Electron Beam Irradiation on the Rubrene Thin Films and their Application to Nano-Patterned Thin-Film Transistors |
| 초록 |
본 연구에서는 유기반도체 물질인 Rubrene에 전자빔을 조사해 그 특성 변화를 살펴보고 이를 나노패턴된 유기박막트랜지스터 제조에 응용해보고자 한다. 급속가열법으로 결정화된 Rubrene 박막에 전자빔을 조사하면 트랜지스터 성능이 감소하는 반면에 패턴에 필수적인 열안정성이 증가하게 된다. 따라서 이 전자빔 조사된 Rubren을 진공에서 가열하면 열안정성이 향상된 전자빔 조사된 부분만 남고 조사되지 않은 부분은 사라지는 패터닝 공정이 구현 가능하다. 이때 전자빔의 조사량과 조사조건을 최적화시킴으로서 불가피한 성능 감소를 최소화할 수 있었으며 직접 전자빔 조사법을 사용함으로써 나노패턴된 유기박막트랜지스터를 제조할 수 있다. |
| 저자 |
조성오1, 이혁무2, 박지원1, 임희진1, 김재준1
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| 소속 |
1KAIST, 2LG화학 |
| 키워드 |
Rubrene; Electron Beam Irradiation; Organic Thin-Film Transistors; Patterning
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| E-Mail |
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