| 초록 |
나노 물질들은 학술적, 산업적인 측면에서 주요 대상으로 조명되고 있다. 나노파티클, 나노선 같은 1차원 나노구조는 기계적으로 유연하고 광학적으로 투명한 성질을 가지고 있으며 이들을 제작하는 과정에서 모양과 크기를 조절하는 방법에 대한 연구가 활발하게 이루어지고 있다. 특히, 금속 나노파티클은 반사 방지막과 같이 광학적 요소로 사용될 뿐만 아니라 Vapor-Liquid-Solid method와 같이 균일하고 얇은 나노선을 합성하는 데 사용하는 등 다양한 분야에서 활용되고 있다. 그러나 공정의 대면적화를 이루기 위해 도입된 용액 공정과의 결합에서 나노파티클들은 금속의 산화문제, 용액 내에서 기판과 나노파티클 간의 결합력 문제와 같은 여러 문제가 발견되고 있다. 본 연구에서는 실리콘 기판 위에 evaporator로 금속을 증착하고 thermal rapid annealing (RTA) 과정을 통해 실리콘 위에 금속 나노파티클을 생성하였으며, adhesion과 cohesion이 다른 금과 은을 각각 증착 후 RTA으로 형성된 나노파티클의 모양과 실리콘 기판과의 결합을 비교하였다. 더 나아가 두 금속의 합금형성을 조절하였을 때 나타나는 나노파티클의 모양과 결합력을 동일한 방법으로 비교 분석하였다. |
