| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2011년 봄 (05/26 ~ 05/27, 제주 휘닉스 아일랜드) |
| 권호 |
17권 1호 |
| 발표분야 |
F. Display and optic Materials and processing(디스플레이 및 광 재료) |
| 제목 |
Ar 가스 유량 조절에 따른 GZO의 전기적 특성 변화 |
| 초록 |
RF 마크네트론 스퍼트를 이용하여 유리 기판 위에 Ga 도핑된 ZnO (GZO)를 증착하였다. Si 박막 태양전지용 투명전극으로 사용될 GZO의 전기적 특성을 향상시키기 위해서 Ar 가스를 조절하여 증착하였다. 증착된 GZO의 전기적 특성은 반데포홀 방법으로 측정하였고, 구조적 특성은 XRD를 이용하여 측정하였다. 가스의 유량에 따라 비저항 및 운반자농도의 의존성을 나타내고, Ar가스를 조절하여 태양전지용 투명전극의 전기적 특성의 최적화를 이룰 수 있다. |
| 저자 |
정영진, 손창식, 이승진
|
| 소속 |
신라대 |
| 키워드 |
ZnO; GZO; RF magnetron sputtering; RF; sputtering
|
| E-Mail |
|
