| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2009년 가을 (11/05 ~ 11/06, 포항공과대학교) |
| 권호 | 15권 2호 |
| 발표분야 | G. Display (LCD, PDP, OLED) Materials(디스플레이 재료) |
| 제목 | 플라즈마 및 열처리한 EL용 Indium-Tin-Oxide 박막의 전기광학 및 구조 특성 |
| 초록 | 다양한 평면표시소자용 ITO 투명전도박막의 전기광학 및 구조적 특성향상을 위해 플라즈마처리 및 분위기에 따른 열처리를 수행하였다. O2, N2, 및 Ar 플라즈마처리와 O2, N2, 및 진공분위기에서 열처리한 ITO박막의 Rs, carrier concentration과 mobility등의 전기적 특성과 가시광-적외선영역의 광투과율 및 Egopt의 광학적 특성을 측정 평가하였고, 또한 FE-SEM, AFM 및 XRR분석을 통한 morphology변화 특성과 XRD분석을 통한 결정구조 및 배향분포 평가 그리고 XPS 및 UPS 결과로부터 결합에너지와 일차수의 변화의 특성 평가를 실시하였다. 처리된 ITO박막의 표면 및 bulk 특성변화를 다양한 특성평가 결과로부터 In, Sn 및 O 조성변화에 따른 Rs와 일함수의 상관관계 및 morphology 변화, 광학적 특성 그리고 구조적 특성의 플라즈마처리 및 열처리에 따른 의존성을 조사하였다. |
| 저자 | 이상걸1, 손상호2 |
| 소속 | 1한국기초과학지원(연), 2경북대 |
| 키워드 | Plasma; EL; ITO; work function |
