| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2009년 봄 (05/21 ~ 05/22, 무주리조트) |
| 권호 | 15권 1호 |
| 발표분야 | 에너지환경재료 |
| 제목 | 마그네트론 스퍼터링을 이용한 ITO/Ni/ITO 적층구조 투광성 전도박막의 특성 연구 |
| 초록 | Indium tin oxide(ITO)는 평판형 디스플레이 장치에 투명전극으로 사용되어지는 재료로써 높은 가시광 투과율(기판 포함 80% 이상)과 낮은 전기저항(1×10-3 Ωcm 이하) 특성을 동시에 만족시킴으로써 다양한 디스플레이 장치에 투명전극으로 사용되고 있다. 특히, OLED 장치에서 양극으로 사용되기 위해 ITO 전극은 투명전도 특성 뿐 아니라 평탄한 표면거칠기가 요구된다. 이에 본 실험에서는 마그네트론 스퍼터링 법을 이용하여 Poly-carbonate 기판에 ITO(50nm)/Ni(5nm)/ITO(45nm)의 다층구조를 갖는 투명전극을 증착한 후 전기·광학적 특성 뿐 아니라 표면거칠기 특성 등을 비교 분석하였다. ITO 단층 박막일 경우와 ITO(50nm)/Ni(5nm)/ITO(45nm) 박막을 비교해보면 순수한 박막의 가시광 투과율이 90% 에서 76% 까지 감소하였으나 전기전도도는 1/2.2×10-3 Ωcm 에서 1/3.3×10-4 Ωcm 까지 감소시켰다. |
| 저자 | 박지혜1, 신창호2, 채주현2, 정철우2, 양종우2, 김대일2 |
| 소속 | 1울산 정밀화학센터, 2울산대 |
| 키워드 | 마그네트론 스퍼터링; ITO/Ni/ITO; 투광성 전도박막 |
