| 초록 |
투명전도 산화막 재료로 널리 쓰이고 있는 ITO는 전기적, 광학적 특성이 우수하다는 장점이 있으나, ITO의 주 재료인 인듐은 고가일 뿐만 아니라 매장량도 제한적 이므로 인듐을 사용하지 않는 대체 재료의 개발이 시급하다. Al doped ZnO(AZO)는 가시광을 투과하는 성질을 가지고 있고, 200°C이하의 저온 공정이 가능한 장점을 가지고 있을 뿐만 아니라, 수소 분위기에서의 안정성 및 낮은 가격으로 인해서 ITO 대체 TCO의 유력한 후보이다. 본 연구에서는 전기적 특성 및 안개도(haze)를 향상시키기 위해 seed로 작용하는 nano particle을 유리기판에 형성한 뒤 rf magnetron sputtering법을 이용하여 AZO투명전극을 제작하여 그 특성을 분석하였다. Hall measurement, UV-VIS spectrophotometer, Optical microscope, SEM을 사용하여 전기적, 광학적, 구조적 특성을 각각 조사하였으며, 특히 광학적 특성 개선에 중점을 두어 관찰하였다. Nano- particle을 사용하여 제조된 AZO 박막은 표면 형상을 변화시켜 박막의 광 포획을 위한 안개도가 향상 됨을 확인 할 수 있었으며, 표면 형상 제어를 통해 박막 태양전지 적용을 위한 투명전도 산화막을 제작할 수 있었다. |
