| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1999년 봄 (04/23 ~ 04/24, 성균관대학교) |
| 권호 | 5권 1호, p.449 |
| 발표분야 | 공정시스템 |
| 제목 | Shadow Mask 식각 공정을 위한 Multi-Nozzle 시스템의 최적 설계 |
| 초록 | 본 연구는 shadow mask etching 공정 중 가장 핵심 공정인 감광성수지(PR)를 사 용한 photo 공정을 통해 미세 패턴이 형성되어 있는 AK steel 또는 invar 합금 위로 염화 제2철 수용액을 균일하게 분사 시키는 공정이다. 상업적으로 주로 사용되고 있는 식각기술은 spray etching 기술로서 이를 통해 빠른 식각속도(etch rate)와 균일한 공경형성(etch profile)을 얻을 수 있다. Multi-nozzle 시스템에는 nozzle의 종류, 각각의 노즐 사이의 간격(Np), nozze이 박힌 파이프 사이의 간격(Pp), invar 합금의 이동속도, nozzle의 요동각도, nozzle의 요동속도 등과 같은 많은 공정변수가 있다. 본 연구에서는 이러한 공정변수들의 식각 pattern에 대한 영향을 컴퓨터 모델링 하였으며 이를 이용하여 최적설계 및 운전조건을 구하였다. |
| 저자 | 김병철, 정재학, 이문용, 이건우 |
| 소속 | 영남대 |
| 키워드 | Shadow Mask; Multi-Nozzle system; Etching |
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| 원문파일 | 초록 보기 |
