| 학회 |
한국공업화학회 |
| 학술대회 |
2005년 봄 (05/13 ~ 05/14, 충남대학교) |
| 권호 |
9권 1호 |
| 발표분야 |
고분자 |
| 제목 |
ITO deposition on polycyclic olefin by electron beam with O2 introduction |
| 초록 |
전자빔 증착법으로 Sn이 10% 첨가된 ITO 타겟을 polycyclic olefin polymer (POP) 플라스틱 기판에 증착 시켰으며 이 플라스틱 기판은 다른 플라스틱 기판보다 330°c 이상의 높은 유리전이 온도를 가지고 있다. 한편 전처리 공정 압력은 4X10-4torr이고 기판 두께는 1000Å하여 실험하였다. 본 연구에서는 ITO 박막의 물리적, 전기적 및 광학적 성질에 중요한변수라 할 수 있는 기판온도와 산소 도입량에 따른 영향을 살폈다. 전자빔 증착법을 이용하여 8sccm의 O2와 200°C의 기판 온도, 5Å/sec의 증착속도 및 1000Å의 박막 두께에서 우수한 전기적·광학적 성질인 1.78X10-3Ω·cm 비저항 및 85% 투과율을 얻을 수 있었다. |
| 저자 |
황기섭, 하기룡, 김동수, 박성환
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| 소속 |
계명대 |
| 키워드 |
ITO 투명 전도성 박막 형성; 플라스틱 기판 증착
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