| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2006년 가을 (11/03 ~ 11/03, 수원대학교) |
| 권호 | 12권 2호 |
| 발표분야 | 반도체 재료 |
| 제목 | SiO2 wafer 표면에 Self-Assembly Monolayers를 이용한 전도성 고분자 poly(3,4-ethylenedioxythiophene)(PEDOT)의 증착 및 Patterning 연구(Deposition and patterning of poly(3,4-ethylenedioxythiophene) on SiO2 wafer by Self-Assembly Monolayers) |
| 초록 | 전도성 고분자 PEDOT을 이용하여 OTFT 구조에서 electrode로 사용하고자 한다. PEDOT 증착 방법은 기판 위에 산화제인 FeCl3를 spin-coating 방법으로 도포 후 EDOT를 evaporation 하여 산화제와 반응시키는 화학적 기상 중합법을 사용하였다. SiO2 wafer 박막 위에서는 FeCl3가 도포가 되지 않아 자기조립 단분자인 SAMs를 SiO2에 처리 하였다. SAMs는 reaction group이 amine기를 가진 SAMs와 그 밖에 다른 특성을 가지는 SAMs를 사용하였다. 각각의 SAMs 처리 후 FeCl3의 도포성이 향상 되었다. 이때 PEDOT을 blanket으로 deposition 하였고, 각각의 SAMs에 따라 PEDOT이 성장하는 경향이 다르다는 것을 확인하였다. 이에 FeCl3가 SAMs의 reaction group에 흡착한다는 것을 확인하였고, 각각의 PEDOT 박막의 비저항을 측정하였다. PEDOT를 선택적으로 증착 시키기 위해 FeCl3를 SiO2 wafer위에 PDMS를 이용하여 μ-contact printing 방법으로 SAMs line patterning 하였다. 그 결과 FeCl3가 SAMs가 Patterning 된 곳에만 선택적으로 도포되는 것을 확인하였고, 이를 EDOT과 화학적 기상 중합한 결과 PEDOT이 선택적으로 증착이 되는 것을 확인하였다. 분석은 AFM, Optic microscope, 4-point probe를 사용하였다. |
| 저자 | 팽일선, 이재갑 |
| 소속 | 국민대 |
| 키워드 | PEDOT; 전도성 고분자 |
