화학공학소재연구정보센터
학회 한국공업화학회
학술대회 2007년 봄 (05/11 ~ 05/12, 계명대학교)
권호 11권 1호
발표분야 나노기술
제목 DC Arc plasma를 이용한 BaTiO3 나노분말의 합성
초록 BaTiO3는 강한 유전체 특성으로 전자장치에 많이 이용되고 있다. 특히 전자장치의 소형화로 인해 유전특성을 잃지 않은 나노 크기의 BaTiO3합성연구가 활발히 진행되고 있다. 본 연구에서는 DC Arc Plasma를 이용하여 BaTiO3를 합성하고 합성된 BaTiO3의 특성분석을 수행하였다. 1차 합성공정은 BaCO3와 TiO2 powder를 기본물질로 성형한 bulk상태의 원료를 열플라즈마로 처리하여 BaTiO3를 합성하였다. 2차 공정은 1차 공정에서 생성된 고체상의 BaTiO3를 분쇄 후 분말공급기를 통해 DC Arc plasma에 주입하여 크기 및 모양을 제어하였다. 합성된 분말은 X-Ray회절 분석, 주사 전자 현미경, Raman spectra을 통해 분석하였다. 평균입자크기는 240nm로 확인하였으며 SEM을 통해 입자 형태를 확인하였다.
저자 정다운, 박동화
소속 인하대
키워드 plasma; BaTiO3; 나노분말
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