| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2014년 가을 (11/27 ~ 11/28, 대전컨벤션센터) |
| 권호 | 20권 2호 |
| 발표분야 | E. 구조 재료(Structural Materials) |
| 제목 | Y2O3-Al2O3-SiO2계 유리조성이 결정화에 미치는 영향 |
| 초록 | 최근 반도체 선폭의 미세화로 인해 가혹한 공정환경을 요구함에 따라, 내 플라즈마성이 우수한 소재를 챔버내의 다양한 구조물에서 요구하고 있다. 기존에 사용되는 코팅 기술들은 고가의 소재를 이용하거나, 코팅박리가 일어나 입자가 탈락되어 웨이퍼에 증착되는 등 생산비용이 증가하거나, 공정상의 여러 문제를 야기하게 되는데, 이러한 문제를 해결하기 위하여 최근 기계적 특성과 내 플라즈마성이 우수한 Y2O3-Al2O3-SiO2계 유리를 개발하여 알루미나에 침투시켜 표면을 강화하고 내 플라즈마성을 향상 시키는 연구가 진행되고 있다. 본 연구는 이러한 침투유리에 적합한 Y2O3-Al2O3-SiO2계 유리의 조성을 달리하여 제조된 유리분말의 결정화에 미치는 영향을 파악하고 적합한 조성의 범위와 공정을 제시하고자 하였다. 실험은 Y2O3, Al2O3, SiO2 분말을 조성비에 따라 건식 볼밀과 습식 볼밀로 나누어서 각각 혼합하고, 혼합 분말을 용융시킨 후, 융액을 급냉과 서냉의 두 가지 방식으로 냉각하여 유리분말을 최종 제작하였다. 제작한 유리분말은 XRD, TG-DTA, FE-SEM을 이용하여 조성과 공정이 결정화에 미치는 영향을 고찰하여 분석하였다. |
| 저자 | 박의근, 민재홍, 이현권 |
| 소속 | 금오공과대 |
| 키워드 | Y2O3-Al2O3-SiO2; 유리; 결정화 |
