한국화학공학회 2003년 가을학술대회 Dichlorobis[bis(trimethylamido)]hafnium과 물을 이용한 Hafnium Silicate의 단원자층 화학증착 남원희1, 강상우1, 이시우1, 이정현2, Steven. M. George3 (1포항공과대, 2삼성종합기술원, 3Dept. of Chemistry and Chemical Department) 목록보기 목록보기
