한국화학공학회 2018년 가을학술대회 액체 주석을 이용한 삼불화질소 (NF3) 제거 방법 황지원1, 정수화1, 황정호2, 이은도1 (1한국생산기술(연), 2연세대) 목록보기 목록보기