한국화학공학회 2006년 가을학술대회 펄스 SiH4 플라즈마 공정에서 입자 성장에대한 공정 변수의 영향 김동주, 박정훈, 강진이, 나소노바 안나, Piyabutr Sunsap, 김교선 (강원대) 목록보기 목록보기