한국화학공학회 2008년 봄학술대회 Czochralski-Silicon(Cz-Si) 단결정 성장로에서 석영도가니의 내구성에 대한 실험 송도원1, 김 효2, 최영규1 (1(주)실트론, 2서울시립대) 목록보기 목록보기
