한국화학공학회 2008년 가을학술대회 고 농도로 안티모니(Sb)가 도핑된 CZ-Si 단결정에서 산소농도 제어에 대한 실험 송도원1, 김 효2 (1(주)실트론, 2서울시립대) 목록보기 목록보기
