한국화학공학회 2001년 가을학술대회 고밀도 플라즈마를 이용한 Y-Ba-Cu-O 초전도체 식각 및 소자 제작 임연호1, 한윤봉2, 강형곤, 한병선 (1전북대, 2전자정보공학부) 목록보기 목록보기
