한국화학공학회 2002년 가을학술대회 : 최적 반복 학습제어기법을 이용한 상업용 RTP 장치 웨이퍼 온도의 다변수 제어

조문기, 원승희, 주상래, 진인식, 양대륙, 이광순 (서강대)