- 코발트-함유 화합물, 이의 합성, 및 코발트-함유 필름 침착에서의 용도
- 국제 특허분류 : C07F-015/06, C07F-007/08, C23C-016/18, C23C-016/34, C23C-016/40, C23C-016/42, C23C-016/455, H01L-021/285, H01L-021/768
- 출원번호/일자 : 10-2015-7023395 (2015/08/27)
- 공개번호/일자 : 10-2015-0111359 (2015/10/05)
- 출원인 : 레르 리키드 쏘시에떼 아노님 뿌르 레?드 에렉스뿔라따시옹 데 프로세데 조르즈 클로드
- 본 발명은 코발트-함유 화합물, 이의 합성, 및 코발트 함유 필름의 침착을 위한 이의 용도를 개시한다. 개시된 코발트-함유 화합물은 하기 화학식 중 하나를 갖는다: [식 중, R 1 , R 2 , R 3 , R 4 및 R 5 각각은 독립적으로 수소 및 선형, 시클릭 또는 분지형 탄화수소 기로 이루어지는 군으로부터 선택되고; 단 (a) R 1 및 R 2 및 R 3 이 탄화수소 기인 경우 R 1 ≠R 2 및/또는 R 3 이고; (b) R 3 이 H 인 경우 R 1 및 R 2 는 탄화수소 기이고; 또는 (c) R 2 및 R 3 가 H 인 경우 R 1 은 C2-C4 탄화수소 기임].
- 원문링크 : KISTI NDSL
