- 코발트-함유 화합물, 이의 합성, 및 코발트-함유 필름 침착에서의 용도
- 국제 특허분류 : C07F-015/06, C07F-007/02, C23C-016/18, C23C-016/34, C23C-016/40, C23C-016/455, H01L-021/285, H01L-021/768
- 출원번호/일자 : 10-2015-7023399 (2015/08/27)
- 공개번호/일자 : 10-2015-0113114 (2015/10/07)
- 출원인 : 레르 리키드 쏘시에떼 아노님 뿌르 레?드 에렉스뿔라따시옹 데 프로세데 조르즈 클로드
- 코발트-함유 화합물, 이의 합성, 및 코발트-함유 필름의 침착을 위한 이의 용도가 개시된다. 기재된 코발트-함유 화합물은 하기 화학식 중 하나를 갖는다: 화학식 I화학식 II [식 중, R 1 , R 2 , R 3 , R 4 및 R 5 각각은 독립적으로 수소; 할로겐; 선형, 시클릭 또는 분지형 탄화수소; 일차 아미노 리간드 (-NHR); 또는 이차 아미노 리간드 (-NRR') (식 중 R 및 R' 는 독립적으로 H 또는 선형, 시클릭 또는 분지형 탄화수소임) 로부터 선택되고; 단, 화학식 I 에서 R 1 , R 2 , 또는 R 3 및 화학식 II 에서 R 4 또는 R 5 중 하나 이상은 아미노 리간드임].
- 원문링크 : KISTI NDSL
