- 반도체 챔버 구성요소를 위한 방사율 제어된 코팅
- 국제 특허분류 : C23C-004/11, C01F-017/00, C04B-035/622, C09K-005/14, C23C-028/04, C23C-004/02, C23C-004/134
- 출원번호/일자 : 10-2016-7028329 (2016/10/12)
- 공개번호/일자 : 10-2017-0023780 (2017/03/06)
- 출원인 : 에프엠 인더스트리즈, 인크.
- 반도체 프로세싱 챔버를 위한 구성요소로서, 이 구성요소는 기재 및 이 기재의 표면 상에 제공되는 코팅 층을 포함하고, 코팅 층은 적어도 제1 코팅 층을 포함하고, 적어도 제1 코팅 층은 0.98 초과 내지 1의 열 방사율을 가지고, 플라즈마 내성을 가지며, 그 두께 방향을 통해서 35 내지 40 범위의 컬러 값(L)을 갖는다.
- 원문링크 : KISTI NDSL
