- 반도체 제조 장치, 반도체 장치의 제조 방법 및 기록 매체
- 국제 특허분류 : H01L-021/205, C23C-016/44, H01L-021/22, H01L-021/324, H01L-021/677
- 출원번호/일자 : 10-2016-7035943 (2016/12/22)
- 공개번호/일자 : 10-2017-0018345 (2017/02/17)
- 출원인 : 가부시키가이샤 히다치 고쿠사이 덴키
- 보트 반송 시의 안정성, 안전성을 향상시킬 수 있는 기술을 제공한다. 기판을 처리하는 반응관; 기판을 보지하는 기판 보지구가 상면에 설치되고 반응관의 노구부를 폐색하는 씰 캡; 제2 엘리베이터에 의한 씰 캡의 승강 동작을 보조하는 제1 엘리베이터; 씰 캡을 승강시키는 제2 엘리베이터; 및 제1 엘리베이터와 제2 엘리베이터를 제어하도록 구성된 제어부를 포함한다.
- 원문링크 : KISTI NDSL
