- 용접방식을 적용한 평면디스플레이용 화학기상증착기의 알루미늄 진공챔버
- 국제 특허분류 : C23C-016/44, B23K-015/00, G02F-001/13, H01L-021/67
- 출원번호/일자 : 10-2018-0047434 (2018/04/24)
- 공개번호/일자 : 10-2019-0123569 (2019/11/01)
- 출원인 : 주식회사 영광와이케이엠씨
- 본 발명은 화학기상증착기에 구비되어 진공상태에서 증착공정을 수행하는 진공챔버에 관한 것으로써, 상기 진공챔버(1)가 전방부재(11)와 후방부재(12)와 좌측부재(13)와 우측부재(14)가 상호 용접을 통해 결합되어 공간부를 형성하는 몸체부(10)와; 상기 몸체부(10)의 상부면에 억지끼움식으로 결합되는 천정부(20); 및 상기 몸체부(10)의 바닥면에 억지끼움식으로 결합되는 바닥부(30)를 포함함으로써, 상기 진공챔버를 통가공이 아닌 분할가공으로 제조함으로써 상기 진공챔버의 부분적인 교체 및 구조변경이 용이하고, 상기 진공챔버의 무게 및 제조단가를 최소화함으로써 제품경쟁력이 향상되도록 한 것이다.
- 원문링크 : KISTI NDSL
