- 용사 피막, 용사 피막의 제조 방법, 용사 부재 및 용사 재료
- 국제 특허분류 : C23C-004/04, C23C-004/134, H01L-021/3065, H01L-021/67, H01L-021/683
- 출원번호/일자 : 10-2019-0099712 (2019/08/14)
- 공개번호/일자 : 10-2020-0019837 (2020/02/25)
- 출원인 : 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
- 희토류 산화물을 함유하는 용사 피막으로 이루어지는 하층, 및 희토류 불화물 및/또는 희토류 옥시불화물을 함유하는 또 다른 용사 피막으로 이루어지는 표층을 포함하는 다층 구조를 갖는 피막이며, 다층 용사 피막은 23℃에서의 부피 저항률 및 200℃에서의 부피 저항률을 갖고, 23℃에서의 부피 저항률이 1×10 9 내지 1×10 12 Ω·cm이고, 200℃에서의 부피 저항률 대 23℃에서의 부피 저항률의 비로 정의된 부피 저항률의 온도 변수가 0.1 내지 10이다.
- 원문링크 : KISTI NDSL
