- 니오븀-함유 필름 형성 조성물 및 니오븀-함유 필름의 기상 증착
- 국제 특허분류 : C23C-016/455, C01B-021/06, C07F-009/00, C09D-001/00, C09D-005/00
- 출원번호/일자 : 10-2020-7001323 (2020/01/15)
- 공개번호/일자 : 10-2020-0008048 (2020/01/22)
- 출원인 : 레르 리키드 쏘시에떼 아노님 뿌르 레��드 에렉스뿔라따시옹 데 프로세데 조르즈 클로드
- 니오븀-함유 필름 형성 조성물, 이를 합성하는 방법, 및 니오븀-함유 필름 형성 조성물을 사용하는 원자층 증착 공정을 통해 하나 이상의 기판 상에 니오븀-함유 필름을 형성하는 방법이 개시된다.
- 원문링크 : KISTI NDSL
