- [로터리 펌프 오일에 관해 질문.....]
- 강신영 (2001/09/19)추천0 조회수1785
- CVD를 이용해 알루미늄 산화물 박막 제조를 연구하는 학생입니다. 제가 전구체로 AlCl3를 사용하는데, 로터리 펌프 오일에 치명적이라고 합니다. 어떻게 하면 좋을까요?
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관리자 (2001-09-19 12:02:09)+덧글답변
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PEFE같은 불소계 내산화성 오일을 사용하시면 될겁니다. 제가 사용하는 오일은 듀퐁사의 Krytox입니다. 저도 받아서 쓰는 거라 어디서 구입하는지는 모르겠네요. 그리고 이외에도 몬테디슨사(Montedison)의 Fomblin이라는 제품도 있는 걸로 알고 있습니다.
마지막으로, 기존 오일을 불소계 오일로 교체할 때는 펌프 내부를 불소계 용제로 세척하시고 되도록이면 오링도 교체하시는 것이 좋다고 합니다. 불소계 용제는 위험한 것이 많으니 특별히 조심하시기 바랍니다.
도움이 되시면 좋겠습니다.
마지막으로, 기존 오일을 불소계 오일로 교체할 때는 펌프 내부를 불소계 용제로 세척하시고 되도록이면 오링도 교체하시는 것이 좋다고 합니다. 불소계 용제는 위험한 것이 많으니 특별히 조심하시기 바랍니다.
도움이 되시면 좋겠습니다.