- (용어 정의)반도체에서의 Design Rule
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tjhwang
(2001/06/01)추천0
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- 디자인 룰 일반적으로 회로선폭을 의미하며 회로 설계자와 공정 기술자 사이에 커뮤니케이션 할수 있는 수단이 되며 성능과 수율,신뢰성 사이에 잘 trade-off 되어야 함을 의미한다.
이것이 설계 혹은 공정을 진행하는 guideline 역활을 하지 절대적 기준은 아니다. 공정을 진행 하면서 오차는 계속 누적되어 초기에 설계자가 생각한 패턴과 웨이퍼 내에 구현되는 패턴간의 차이가 발생한다.이런한 에러가 누적되어도 ,회로의 동작에 이상이 없도록 하기 위해 디자인 룰이 필요하며,배선의 저항과 캐패시턴스 값 등과 같이 공정 변화에 따라 회로 동작이 심각하게 변화하지 않는 영역을 설정하기 위함이다.
디자인 룰 의 목적은 성능과 신뢰성을 고려한 상태에서 칩 면적이 최소가 되고,최적의 yield(수율) 를 확보하기 위함이다.
즉 칩 면적을 줄이고 회로의 성능을 개선하기 위하여 보수적인 디자인룰 을 사용하면,집적도 와 성능이 나빠지게 되므로 trade-off 가 필요하다.
