| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2022년 봄 (05/11 ~ 05/13, 제주국제컨벤션센터(ICC JEJU)) |
| 권호 | 26권 1호 |
| 발표분야 | 포스터-환경·에너지 |
| 제목 | 비수용성 질소산화물 효과적 제거를 위한 오존산화-흡수환원 공정 최적화 연구 |
| 초록 | 연소과정에 발생하는 고온의 배기가스에 포함된 질소산화물(NOx)은 열역학적으로 NO 형태로 배출되며 전체 NOx 중에 90~95%를 차지한다. 통상적으로 촉매환원 공정이 적용될 수 있으나 미세분진이 더불어 존재하며 습도가 높고 온도가 낮은 환경에서는 효용성이 매우 낮기 때문에 오존산화 기술 공정이 점차적으로 보급되고 있다. 오존산화 기술은 물에 대한 용해도가 낮은 NOx (특히 NO) 및 휘발성 유기화합물을 처리하기 위한 전처리 공정으로 매우 효과적이다. 본 연구에서는 반도체 제조공정에서 발생하는 비수용성 질소산화물을 효과적으로 제거하기 위하여 오존산화-흡수환원 공정을 집적화한 10 CMM급 제거시스템을 개발하였으며, NOx 제거효율 증대를 위하여 환원제 선정 및 공정변수 최적화를 진행하였다. 오존산화 기반 DeNOx 공정에서 가장 중요한 운전변수인 O3/NO 비율, NOx 제거효율과 환원제 내구성 향상을 위한 첨가제 효과 및 공정 운전변수를 최적화하여 각각의 제거효율 기여도를 확인하였다. |
| 저자 | 이승준1, 고은하1, 김새암1, 홍기훈2, 황상연2, 엄성현2 |
| 소속 | 1(주)플라즈마텍 기업부설(연), 2고등기술(연) |
| 키워드 | 반도체 폐가스; 미세먼지-질소산화물 동시 저감; 오존 고속산화; 공정 최적화 |
