검색결과 : 17건
| No. | Article |
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포토마스크 펠리클 제조를 위한 Aluminum Frame 표면 세정공정 연구 김현태, 김향란, 김민수, 이준, 장성해, 최인찬, 박진구 Korean Journal of Materials Research, 25(9), 462, 2015 |
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이류체 노즐을 이용한 FPD 세정시스템 및 공정 개발 김민수, 김향란, 김현태, 박진구 Korean Journal of Materials Research, 24(8), 429, 2014 |
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듀얼 디퓨저 리소그래피를 이용한 3 차원 마이크로 구조의 제작 한동호, Hassan Hafeez, 류헌열, 조시형, 박진구 Korean Journal of Materials Research, 23(8), 447, 2013 |
| 4 |
미세금형 가공을 위한 전기화학식각 공정의 유한요소 해석 및 실험결과 비교 류헌열, 임현승, 조시형, 황병준, 이성호, 박진구 Korean Journal of Materials Research, 22(9), 482, 2012 |
| 5 |
침강성 탄산칼슘을 이용한 젖산칼슘 합성에 관한 연구 박주원, 조계홍, 박진구, 안지환, 한춘 Journal of the Korean Industrial and Engineering Chemistry, 19(2), 173, 2008 |
| 6 |
Cu ECMP 공정에서 전해액이 연마거동에 미치는 영향 권태영, 김인권, 김태곤, 조병권, 박진구 Korean Journal of Materials Research, 18(6), 334, 2008 |
| 7 |
기상 자기조립박막 법을 이용한 나노임프린트용 점착방지막 형성 및 특성평가 차남구, 김규채, 박진구, 정준호, 이응숙, 윤능 Korean Journal of Materials Research, 17(1), 31, 2007 |
| 8 |
연마제 특성에 따른 차세대 금속배선용 Al CMP (chemical mechanical planarization) 슬러리 평가 차남구, 강영재, 김인권, 김규채, 박진구 Korean Journal of Materials Research, 16(12), 731, 2006 |
| 9 |
PECVD를 이용한 금속 스탬프용 점착방지막 형성과 특성 평가 차남구, 박창화, 조민수, 김규채, 박진구, 정준호, 이응숙 Korean Journal of Materials Research, 16(4), 225, 2006 |
| 10 |
IPA 저온 접합법을 이용한 PMMA Micro CE Chip의 제작 차남구, 박창화, 임현우, 조민수, 박진구 Korean Journal of Materials Research, 16(2), 99, 2006 |